微納米技術與高端精密製造

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半導體領域

半導體材料、 工芝和裝備的研發設計 生產製造商

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工業/研究級薄膜沉積設備

半導體材料與器件、微納材料與器件及高級精密製造技術的研發設計和生產製造商

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微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發和生產
大尺寸金剛石多晶晶圓片,用於大功率器件、
高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉

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基於自主設備的先進半導體材料供應商

PECVD 等離子體增強化學氣相沉積設備主要用於在
潔淨真空環境下進行氮化矽和氧化矽的薄膜生長

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產品展示

生產型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控濺射鍍膜機

生產型TGV/TSV/TMV高真空磁控濺射鍍膜機(Sputter-2000W系列)該設備用於玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜,深徑比>10:1。

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HFCVD 熱絲化學氣相沉積設備

研發設計製造了熱絲CVD金剛石設備,分為實驗型設備和生產型設備兩類。 設備主要用於微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發和生產。 可用於力學級別、熱學級別、光學級別、聲學級別的金剛石產品的研發生產。 可以製造大尺寸金剛石多晶晶圓片,用於大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。

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MBE分子束外延設備

分子束外延薄膜生长设备(MBE)是一种能够在特定衬底上实现外延生长工艺的设备,能够进行分子自组装、超晶格、量子阱、一维纳米线等结构的制造。该设备适用于第二代和第三代半导体的工艺验证及外延片的生长与制造。 在薄膜外延生长过程中,分子束外延薄膜生长设备提供超高真空环境,确保在理想条件下进行薄膜外延生长。这种环境能够有效排除在薄膜生长过程中可能出现的各种干扰因素,从而获得理想的高精度薄膜。

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關於我們

鵬城半導體技術(深圳)有限公司

由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。


公司立足於技術前沿與市場前沿的交叉點,尋求創新引領與可持續發展,解決產業的痛點和國產化難題,爭取產業鏈的自主可控。 公司核心業務是微納技術與高端精密製造,具體應用領域包括半導體材料、半導體工藝和半導體裝備的研發設計和生產製造。 公司人才團隊知識結構完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊;還有來自工業界的高級裝備設計師團隊,他們具有20多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜製備成套裝備設計、生產製造的經驗。 公司依託於哈爾濱工業大學(深圳),具備先進的半導體研發設備平台和檢測設備平台,可以在高起點開展科研工作。 公司總部位於深圳市,具備半導體裝備的研發、生產、調試以及半導體材料與器件的中試、生產、銷售的能力。

進一步了解
2021

公司成立時間

54 +

技術專利

30

技術積累

200 +

服務客戶

實驗室及研發中心

依托哈爾濱工業大學(深圳)完備的實驗平台和測試分析平台,為研發和生產提供支撐。

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新聞資訊

薄膜沉積設備

2025-04-30

薄膜沉積設備分類:薄膜沉積是指在矽晶圓等基板上沉積待處理的薄膜材料,所沉積薄膜材料主要是二氧化矽、氮化矽、多晶矽等非金屬以及銅等金屬,沉積膜可為非晶質、多晶或單晶。

展會邀請|鵬城半導體誠摯邀請您參加第七屆全球半導體產業(重慶)博覽會

2025-04-24

第七屆全球半導體產業(重庆)博覽會將於2025年5月8日-10日在重庆國際博覽中心舉辦,此次博覽會以「新時代.創造芯未來」為主題,展示面積達40000㎡,參展企業800家,吸引35000名專業觀眾到場參觀交流。

鵬城半導體榮膺國家高新技術企業,引領納米與原子製造技術新征程

2025-03-07

在科技飛速發展的當下,半導體行業作為現代信息技術的基石,正不斷推動著各個領域的創新與變革。近日,鵬城半導體技術(深圳)有限公司憑藉其卓越的技術創新能力和在半導體領域的突出貢獻,成功獲得國家高新技術企業認定。這一殊榮不僅是對鵬城半導體過往努力的高度認可,更標誌著其在納米與原子製造技術領域的領先地位得到了權威認證。

半導體製造及先進封裝持續升溫

2025-02-27

得益於政策的有力支持、行業周期性的變化、創新驅動的增長以及國產替代的加速推進,從IC設計到晶圓製造、封裝測試,再到設備材料等多個細分領域,國產化率實現了顯著提升,標誌著我國半導體產業正朝著自主可控的方向穩步邁進。