產品展示
生產型TGV/TSV/TMV高真空磁控濺射鍍膜機（Sputter-2000W系列）該設備用於玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的金屬種子層鍍膜，深徑比>10:1。
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超高真空高能脈衝磁控濺射鍍膜設備（HITSemi-UHV-HIPIMS）
超高真空高能脈衝磁控濺射鍍膜設備，是在超潔淨環境下，採用納米及原子級製造技術，生長高純度高品質薄膜。應用場景之一：GaN單晶薄膜生長工藝、GaN基稀磁半導體分子結構材料製備的工藝實現。
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分子束外延薄膜生長設備（MBE）（分子束外延MBE）該設備可以在某些襯底上實現外延生長工藝，實現分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線等。可以進行第二代半導體和第三代半導體的工藝驗證和外延片的生長製造。 分子束外延薄膜生長設備在薄膜外延生長時具有超高真空環境，是在理想的環境下進行薄膜外延生長，它可以排除在薄膜生長時的各種干擾因素，得到理想的高精度薄膜。
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關於我們
鵬城半導體技術(深圳)有限公司
由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。
鵬城半導體技術（深圳）有限公司，由哈爾濱工業大學（深圳）與具備多年實務經驗的工程師團隊共同發起創立。公司立足技術、市場與產業的交匯節點，堅持創新與永續發展，致力解決產業技術瓶頸與國產化難題，協助產業鏈實現自主可控。 鵬城微奈米技術（瀋陽）有限公司為鵬城半導體技術（深圳）有限公司全資子公司，是半導體及泛半導體製程與設備之設計、生產製造基地。 公司核心業務涵蓋微奈米技術、精密製造與原子級製造，具體應用領域包含半導體與泛半導體材料、製程、設備之研發設計、生產製造、製程技術服務及設備升級改造；可為客戶提供製程研發與樣品試製服務，為量產企業供應產線專用設備，亦為科研單位研製實驗專用儀器。 公司人才團隊知識體系完備，成員包含哈工大教授、博士資深工程師，建置高階材料研發與製程研究團隊；另有深耕產業界三十餘年的設備設計師團隊，累積逾三十年半導體材料研發、磊晶技術研究，以及半導體薄膜製備整廠設備之設計、量產製造實務經驗。
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技術專利
技術積累
服務客戶
實驗室及研發中心
依托哈爾濱工業大學(深圳)完備的實驗平台和測試分析平台,為研發和生產提供支撐。
新聞資訊
2026-07-01
熱烈祝賀鵬城微納榮獲「創贏未來」2026創業大賽遼寧省選拔賽一等獎
2026-06-24
2026-05-19
大連相約，與鵬城半導體共赴2026年微納器件與系統應用技術大會
2026-05-16
聯系人:戴小姐
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