產品展示
生產型TGV/TSV/TMV高真空磁控濺射鍍膜機（Sputter-2000W系列）該設備用於玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜，深徑比>10:1。
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研發設計製造了熱絲CVD金剛石設備,分為實驗型設備和生產型設備兩類。 設備主要用於微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發和生產。 可用於力學級別、熱學級別、光學級別、聲學級別的金剛石產品的研發生產。 可以製造大尺寸金剛石多晶晶圓片,用於大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
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分子束外延薄膜生长设备（MBE）是一种能够在特定衬底上实现外延生长工艺的设备，能够进行分子自组装、超晶格、量子阱、一维纳米线等结构的制造。该设备适用于第二代和第三代半导体的工艺验证及外延片的生长与制造。 在薄膜外延生长过程中，分子束外延薄膜生长设备提供超高真空环境，确保在理想条件下进行薄膜外延生长。这种环境能够有效排除在薄膜生长过程中可能出现的各种干扰因素，从而获得理想的高精度薄膜。
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關於我們
鵬城半導體技術(深圳)有限公司
由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。
鵬城半導體技術(深圳)有限公司，由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。公司立足於技術前沿與市場前沿的交叉點，尋求創新引領與可持續發展，解決產業的痛點和國產化難題，爭取產業鏈的自主可控。 鵬城微納技術（沈陽）有限公司是鵬城半導體技術（深圳）有限公司全資子公司，是半導體和泛半導體工藝和裝備的設計中心和生產製造基地。 公司核心業務是微納技術與高端精密製造，具體應用領域包括半導體和泛半導體材料、工藝、裝備的研發設計、生產製造、工藝技術服務及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發和打樣。 公司人才團隊知識結構完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊；還有來自工業界的高級裝備設計師團隊，他們具有30多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜製備成套裝備設計、生產製造的經驗。 公司依托於哈爾濱工業大學（深圳），具備先進的半導體研發設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位於深圳市，具備半導體和泛半導體裝備的研發、生產、調試以及器件的中試、生產、銷售的能力。
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技術專利
技術積累
服務客戶
實驗室及研發中心
依托哈爾濱工業大學(深圳)完備的實驗平台和測試分析平台,為研發和生產提供支撐。
新聞資訊
2026-02-03
鵬城半導體磁控濺射技術實現新突破，助力高端真空鍍膜設備國產化
2026-01-16
2026-01-13
聯系人:戴小姐
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