技術專利
一種插板閥以及立式雙室熱絲CVD系統
一種掩膜版切換機構以及真空鍍膜設備
一種超高真空磁控濺射靶以及磁控濺射裝置
一種磁控濺射靶組件
一種鍍膜設備樣品台組件
一種矩形平面濺射靶
一種立式雙室熱絲CVD系統
一種熱絲CVD設備
一種線槽組件以及電控模組
多功能磁控溅射仪系統軟體
一種旋轉樣品台及分子束外延設備
一種用於熱絲薄膜沉積的熱絲固定組件
真空鍍膜設備機櫃
PVD薄膜沉積系統軟件
單室高真空PECVD薄膜製備設備電源系統軟件
電子束蒸鍍薄膜沉積系統軟件
多功能磁控濺射雙進氣系統
多功能磁控濺系統三靶材1路混氣閥系統軟件
多功能磁控濺系統三靶材3路混氣閥系統軟件
高真空濺射系統軟件
聯系人:戴小姐
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