所謂濺射就是用荷能粒子(通常用惰性氣體的正離子)去轟擊固體(以下稱靶材)表面,從而引起靶材表面上的原子(或分子)從其中逸出的一種現象。 這一現象是格洛夫(Grove)於1842年在實驗研究陰極腐蝕問題時,陰極材料被遷移到真空管壁上而發現的。 利用這種濺射方法在基體上沉積薄膜是1877年問世的。 但是,利用這種方法沂積薄膜的初期存在著濺射速率低,成膜速度慢,並且必須在裝置上設置高壓和通人惰性氣體等一系列問題。 因此,發展緩慢險些被淘汰。 只是在化學活性強的貴金屬難熔金屬、介質以及化合物等材料上得到了少量的應用。
2023/03/15
離子鍍膜設備起源於20世紀50年代D.M.Maiox提出的理論,且在當時開始有了對應的實驗;直到1971年,chamber等發表電子束離子鍍膜技術;而反應蒸鍍(ARE)技術則是在1972年的Bunshah報告所指出,此時產生了TC及TN等超硬質的薄膜類型;同樣是在1972年,smith和Moley在鍍膜工藝中採用了空心陰極技術。 到了20世紀80年代,我國離子鍍終於達到工業應用的水準,相繼出現了真空多弧離子鍍及電弧放電型離子鍍等鍍膜工藝。
2023/02/13
作為聚焦於微納材料(含半導體材料)、微納製造工藝、微納裝備的研發設計和生產製造的供應商-鵬城半導體技術(深圳)有限公司(簡稱:鵬城半導體),借助中國材料大會這個展示創新技術產品及應用的平台,鵬城半導體將展出其精心研發的HFCVD熱絲化學氣相沉積系統解決方案、科研/生產型磁控濺射(PVD真空鍍膜)解決方案、分子束外延薄膜生長設備MBE、PECVD等離子體增強化學氣相沉積解決方案等。 熱切期待國內外嘉賓蒞臨廣州白雲國際會議中心一期2F62展位,共同探索材料設計製備發展新路徑,共謀行業新機遇,攜手書寫產業高質量發展的嶄新篇章。
2024/07/03
鵬城半導體邀請您參加6月26-28日,SEMI-e 2024深圳國際半導體展齊聚深圳國際會展中心(寶安)
SEMl-e2024第六屆深圳國際半導體展將於6月26-28日在深圳國際會展中心(寶安)盛大開幕。 作為半導體領域頗具影響力和代表性的行業盛會,本屆展會將匯聚800多家展商集中展示芯片設計、晶圓製造與封裝、半導體專用設備與零部件、先進材料、第三代半導體/IGBT,汽車半導體為主的半導體產業鏈,構建半導體產業交流融合的新生態。
2024/06/17
邀請函|2024全國先進塗層與薄膜技術應用發展大會(6.18-19蘇州)
鵬城半導體技術(深圳)有限公司,由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。 公司立足於市場前沿、產業前沿和技術前沿的交叉點,尋求創新引領與可持續發展,解決產業的痛點和國產化難題,爭取產業鏈的自主可控。
2024/06/11
2024 年4 月12-14 日在昆明花之城豪生國際酒店舉辦第一屆新能源與光電技術國際會議(ICEO2024),本次國際會議是新能源與光電領域科研工作者的一次專業盛會,將全面地展示科研工作者們在鈣鈦礦太陽能電池、有機太陽能電池、薄膜電池、燃料電池、鋰/鈉電池、發光二極管、發光電化學電池、光電探測器、激光器、傳感器、薄膜晶體管等研究領域所取得的最新進展及成果,深入探討相關研究領域所面臨的機遇、挑戰及未來的發展方向。 屆時,鵬城半導體技術(深圳)有限公司(簡稱:鵬城半導體)也受主辦方邀請亮相本屆會議。
2024/03/25
「中國材料大會」是中國材料研究學會的學術年會,是重要的系列品牌會議之一,是中國新材料界學術水平最高、涉及領域最廣、前沿動態最新的超萬人學術大會,是面向國家重大需求、推動新材料前沿重大突破的高水平品牌大會。 為推動經濟社會高質量發展,加快建設科技強國,實現高水平科技自立自強,擬於2024年7月8-11日在廣東省廣州市舉辦中國材料大會2024,同期召開第二屆世界材料大會。 會議涵蓋能源材料、環境材料、先進結構材料、功能材料、材料設計製備與評價等5大類主題;同時開設一批特色論壇,包括青年論壇、特色新材料論壇、材料教育論壇、材料期刊論壇等。 除此之外,還同期舉行國際新材料科研儀器與設備展覽會等。
2024/03/18
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