新聞中心
img

公司新聞

行業資訊

生產型 TGV/TSV

發布時間:

2024-12-27

微博 微信 朋友圈 QQ QQ空间 复制链接
生產型 TGV/TSV 高真空磁控濺射鍍膜機該設備用於玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜，深徑比>10:1。例如：用於基板鍍膜工序Cu/Ti微結構，Au/TiW傳輸導線雙體系膜層沉積能力，為微系統集成密度提升提供支撐。

生產型 TGV/TSV 高真空磁控濺射鍍膜機該設備用於玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的鍍膜，深徑比>10:1。例如：用於基板鍍膜工序Cu/Ti微結構，Au/TiW傳輸導線雙體系膜層沉積能力，為微系統集成密度提升提供支撐。

設備優點：膜層均勻性及重複性高，膜層附著力強，設備依據工藝配方進行可編程自動化控制。

設備結構及性能參數

-單鍍膜室、雙鍍膜室、多腔體鍍膜室

-臥式結構、立式結構

-線列式、團簇式

-樣品傳遞：直線式、圓周式

-磁控濺射靶數量及類型：多支矩形磁控靶

-磁控濺射靶：直流、射頻、中頻、高能脈衝兼容

-基片可加熱、可升降、可加偏壓

-通入反應氣體，可進行反應濺射鍍膜

-操作方式：手動、半自動、全自動

-基片托架：根據基片尺寸配置

-基片幅面：2、4、6、8、10英寸及客戶指定尺寸

-進/出樣室極限真空度：≤8X10-5Pa

-進/出樣室工作背景真空度：≤2X10-3Pa

-鍍膜室的極限真空度：5X10-5Pa，

工作背景真空度：8X10-4Pa

-膜層均勻性：<5%（片內），<5%（片間）

-設備總體漏放率：關機12小時真空度≤10Pa

新聞中心

電子束如何在真空中給材料「鍍」上一層膜？

現代器件的性能，很大程度上取決於薄膜。薄膜可能只有幾十到幾百奈米厚，卻影響著晶片導不導電、鏡片透不透光、器件耐不耐高溫。這層膜是怎麼「鋪」上去的？答案之一，便是高真空電子束蒸發鍍膜。

第27屆CIOE中國光博會收官｜鵬城半導體參展回顧

2026年9月11日，第27屆中國國際光電博覽會（CIOE中國光博會）在深圳國際會展中心順利落幕。鵬城半導體技術（深圳）有限公司（簡稱「鵬城半導體」）攜公司核心裝備（PVD鍍膜設備、CVD鍍膜設備）及配套工藝解決方案亮相展會現場。

第27屆CIOE中國光博會即將啟幕，與鵬城半導體共赴微納製造新程

2026年9月9日至11日，第27屆CIOE中國光博會重磅啟幕！鵬城半導體攜磁控鍍膜、電子束蒸發、HFCVD金剛石沉積等自研真空薄膜裝備及全套工藝解決方案亮相深圳寶安展覽中心，聚焦先進封裝、精密光學、光電子製造，誠邀業界同仁蒞臨洽談、共探產業新機遇！

鵬城半導體展會風采｜第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會

2026年8月26日至28日，為期三天的第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會在深圳國際會展中心（寶安新館）7號館圓滿落幕。鵬城半導體技術（深圳）有限公司（以下簡稱「鵬城半導體」）攜鑽石散熱晶圓片與核心鍍膜設備（PVD鍍膜設備、CVD鍍膜設備）亮相H20展位。

鵬城半導體邀您相聚第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會，共赴先進封裝產業技術盛會

2026年8月26日至28日，第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會將於深圳國際會展中心（寶安新館）7號館盛大啟幕。鵬城半導體技術（深圳）有限公司（簡稱「鵬城半導體」）將亮相本次展會，並參與同期舉辦的第四屆玻璃基板暨先進封裝產業鏈高峰論壇，誠邀廣大客戶、行業同仁蒞臨交流，共探產業技術發展新機遇。