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邀請函|2024全國先進塗層與薄膜技術應用發展大會(6.18-19蘇州)

發布時間:

2024-06-11

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鵬城半導體技術(深圳)有限公司,由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。 公司立足於市場前沿、產業前沿和技術前沿的交叉點,尋求創新引領與可持續發展,解決產業的痛點和國產化難題,爭取產業鏈的自主可控。

公司簡介

鵬城半導體技術(深圳)有限公司,由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。 公司立足於市場前沿、產業前沿和技術前沿的交叉點,尋求創新引領與可持續發展,解決產業的痛點和國產化難題,爭取產業鏈的自主可控。
公司核心業務是微納材料(含半導體材料)、微納製造工藝、微納裝備的研發設計和生產製造。
科研型設備:PVD、CVD、MBE分子束外延等。
工業生產型設備:大型蒸鍍設備、多弧離子源鍍膜設備、矩形磁控濺射鍍膜設備、電子束蒸發設備、OLED鍍膜設備、HFCVD熱絲化學氣相沉積設備、真空高溫CVD爐、六英寸MBE生產設備。
公司技術和產品可以廣泛應用於:新材料、新能源、微電子光電子、半導體、聲學、光學、微機電系統(MEMS);傳感器、生物醫學、精準醫療、大健康、環保、微納機器人、表面技術等領域。
公司核心研發團隊知識結構完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊,還有來自工業界的高級裝備設計師團隊。 公司團隊具有20多年的微納材料與器件研究(含半導體材料)、PVD/CVD沉積技術研究、外延技術研究、薄膜製備成套裝備設計和生產製造的經驗。
HFCVD熱絲化學氣相沉積設備





金剛石薄膜生產線

研發設計製造了熱絲CVD金剛石設備,分為實驗型設備和生產型設備兩類。
設備主要用於微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發和生產。 可用於力學級別、熱學級別、光學級別、聲學級別的金剛石產品的研發生產。
可以製造大尺寸金剛石多晶晶圓片,用於大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
可用於生產製造防腐耐磨硬質塗層;環保領域污水處理用的金剛石產品。
可用於平面工件的金剛石薄膜製備,也可用於刀具表面或其它不規則表面的金剛石硬質塗層製備。
可用於太陽能薄膜電池的研發與生產。




熱絲CVD金剛石設備

高真空磁控濺射儀(實驗型、生產型)

實驗型-高真空磁控濺射儀

高真空磁控濺射儀是用磁控濺射的方法,製備金屬、合金、化合物、半導體、陶瓷、介質複合膜及其它化學反應膜等;適用於鍍製各種單層膜、多層膜、摻雜膜及合金膜;可鍍製磁性材料和非磁性材料。

生產型-高真空磁控濺射儀

分子束外延薄膜生長設備(MBE)

分子束外延薄膜生長設備(MBE)可以在某些襯底上實現外延生長工藝,實現分子自組裝、超晶格、量子阱、一維納米線等。 可以進行第二代半導體和第三代半導體的工藝驗證和外延片的生長制造。
分子束外延薄膜生長設備在薄膜外延生長時具有超高的真空環境,是在理想的環境下進行薄膜外延生長,它可以排除在薄膜生長時的各種干擾因素,得到理想的高精度薄膜。
我公司設計製造的分子束外延薄膜生長實驗設備,分實驗型和生產型兩種,配置合理,結構簡單,操作方便,技術先進,性能可靠,用途多,實用性強,價格相對較低,可供各大學的實驗室及科研機構作為分子束外延方面的教學實驗、科學研究及工藝實驗之用。
生產型MBE可用於批量外延片的製備。


PECVD等離子體增強化學氣相沉積設備

PECVD 等離子體增強化學氣相沉積設備主要用於在潔淨真空環境下進行氮化矽和氧化矽的薄膜生長;採用單頻或雙頻等離子增強型化學氣相沉積技術,是沉積高質量的氮化矽、氧化矽等薄膜的理想工藝設備。

會議名稱:2024全國先進塗層與薄膜技術應用發展大會
會議時間:6.18-19
會議地點:蘇州-在水一方大酒店,江蘇省蘇州市相城區尊園路1號

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電子束如何在真空中給材料「鍍」上一層膜？

現代器件的性能，很大程度上取決於薄膜。薄膜可能只有幾十到幾百奈米厚，卻影響著晶片導不導電、鏡片透不透光、器件耐不耐高溫。這層膜是怎麼「鋪」上去的？答案之一，便是高真空電子束蒸發鍍膜。

第27屆CIOE中國光博會收官｜鵬城半導體參展回顧

2026年9月11日，第27屆中國國際光電博覽會（CIOE中國光博會）在深圳國際會展中心順利落幕。鵬城半導體技術（深圳）有限公司（簡稱「鵬城半導體」）攜公司核心裝備（PVD鍍膜設備、CVD鍍膜設備）及配套工藝解決方案亮相展會現場。

第27屆CIOE中國光博會即將啟幕，與鵬城半導體共赴微納製造新程

2026年9月9日至11日，第27屆CIOE中國光博會重磅啟幕！鵬城半導體攜磁控鍍膜、電子束蒸發、HFCVD金剛石沉積等自研真空薄膜裝備及全套工藝解決方案亮相深圳寶安展覽中心，聚焦先進封裝、精密光學、光電子製造，誠邀業界同仁蒞臨洽談、共探產業新機遇！

鵬城半導體展會風采｜第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會

2026年8月26日至28日，為期三天的第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會在深圳國際會展中心（寶安新館）7號館圓滿落幕。鵬城半導體技術（深圳）有限公司（以下簡稱「鵬城半導體」）攜鑽石散熱晶圓片與核心鍍膜設備（PVD鍍膜設備、CVD鍍膜設備）亮相H20展位。

鵬城半導體邀您相聚第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會，共赴先進封裝產業技術盛會

2026年8月26日至28日，第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會將於深圳國際會展中心（寶安新館）7號館盛大啟幕。鵬城半導體技術（深圳）有限公司（簡稱「鵬城半導體」）將亮相本次展會，並參與同期舉辦的第四屆玻璃基板暨先進封裝產業鏈高峰論壇，誠邀廣大客戶、行業同仁蒞臨交流，共探產業技術發展新機遇。