新聞中心
img

公司新聞

行業資訊

半導體專用熱絲法CVD金剛石設備生產廠家《台風快訊》

發布時間:

2023-06-14

微博 微信 朋友圈 QQ QQ空间 复制链接
金剛石是一種典型的多功能極限材料,在電學、光學、熱學、力學聲學和電化學方面具有優異性能,在眾多高新技術領域具有廣闊的應用前景。 20世紀80年代之後,化學氣相沉積(CVD)技術製備金剛石塗層促進了其廣泛的應用,引發了席捲全球的「金剛石熱」。 90年代後,隨著金剛石塗層工業化製備技術的出現,金剛石塗層產業開萌生。 金剛石塗層工具、金剛石熱沉、金剛石光學窗口、金剛石膜基探測器及傳感器和金剛石電極等一系列高技術附加值產品開始進入市場,極大地推動了精密加工、生物醫學、電化學、傳感與探測和半導體等領域的產業升級。

金剛石是一種典型的多功能極限材料,在電學、光學、熱學、力學聲學和電化學方面具有優異性能,在眾多高新技術領域具有廣闊的應用前景。 20世紀80年代之後,化學氣相沉積(CVD)技術製備金剛石塗層促進了其廣泛的應用,引發了席捲全球的「金剛石熱」。 90年代後,隨著金剛石塗層工業化製備技術的出現,金剛石塗層產業開萌生。 金剛石塗層工具、金剛石熱沉、金剛石光學窗口、金剛石膜基探測器及傳感器和金剛石電極等一系列高技術附加值產品開始進入市場,極大地推動了精密加工、生物醫學、電化學、傳感與探測和半導體等領域的產業升級。
21世紀初我國開始出現CVD金剛石產業,目前主要涵蓋硬質合金基金剛石塗層工具和模具,工具級、熱沉級和光學級金剛石自支撐膜,並呈現出良好的發展勢頭。 並且,我國的金剛石塗層研究一直受到國家有高度關注。 國家「863」計劃和國家自然科學基金均持續資助過相關研究項目。 在「八五」、「九五」、「十一五」期間均圍繞金剛石塗層方面設立重大關鍵技術項目和關鍵材料專項,取得了重大成果。
熱絲法CVD金剛石設備
鵬城半導體技術(深圳)有限公司(簡稱:鵬城半導體)研發設計製造了熱絲CVD金剛石設備,分為實驗型設備和生產型設備兩類。
設備主要用於微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發和生產。 可用於力學級別、熱學級別、光學級別、聲學級別的金剛石產品的研發生產。
可以製造大尺寸金剛石多晶晶圓片,用於大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
可用於生產製造防腐耐磨硬質塗層;環保領域污水處理用的金剛石產品。
可用於平面工件的金剛石薄膜製備,也可用於刀具表面或其它不規則表面的金剛石硬質塗層製備。
可用於太陽能薄膜電池的研發與生產。







平面工作尺寸
圓形平面工作的尺寸:最大φ600mm。
矩形工作尺寸的寬度600mm/長度可根據鍍膜室的長度確定(如:工件長度1200mm)。
配置冷水樣品台。
可單面鍍膜也可雙面鍍膜。
熱絲電源功率
可達300KW,1KW ~ 300KW可調(可根據用戶工藝需求配置功率範圍)
設備安全性
-電力系統的檢測與保護
-設置真空檢測與報警保護功能
-冷卻循環水系統壓力檢測和流量檢測與報警保護
-設置水壓檢測與報警保護裝置
-設置水流檢測報警裝置
設備構成
真空室構成
雙層水冷結構,立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形,前後開門,真空尺寸,根據工件尺寸和數量確定。
熱絲
熱絲材料:鉭絲、或鎢絲
熱絲溫度:1800℃~ 2500℃ 可調
樣品台
可水冷、可加偏壓、可旋轉、可升降 ,由調速電機控制,可實現自動升降,(熱絲與襯底間距在5 ~ 100mm範圍內可調),要求升降平穩,上下波動不大於0.1mm。
工作氣路(CVD)
工作氣路根據用戶工藝要求配置:
下面氣體配置是某一用戶的配置案例。
H2(5000sccm,濃度100%)
CH4(200sccm,濃度100%)
B2H6(50sccm,H2濃度99%)
Ar(1000sccm,濃度100%)
真空獲得及測量系統
控制系統及軟件
生產型熱絲CVD金剛石設備





























可製備金剛石面積-寬600*長1200mm

新聞中心

鵬城半導體展會風采｜第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會

2026年8月26日至28日，為期三天的第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會在深圳國際會展中心（寶安新館）7號館圓滿落幕。鵬城半導體技術（深圳）有限公司（以下簡稱「鵬城半導體」）攜鑽石散熱晶圓片與核心鍍膜設備（PVD鍍膜設備、CVD鍍膜設備）亮相H20展位。

鵬城半導體邀您相聚第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會，共赴先進封裝產業技術盛會

2026年8月26日至28日，第八屆精密陶瓷產業鏈展覽會將於深圳國際會展中心（寶安新館）7號館盛大啟幕。鵬城半導體技術（深圳）有限公司（簡稱「鵬城半導體」）將亮相本次展會，並參與同期舉辦的第四屆玻璃基板暨先進封裝產業鏈高峰論壇，誠邀廣大客戶、行業同仁蒞臨交流，共探產業技術發展新機遇。

鵬城微納榮獲「創贏未來」創業大賽全國總決賽三等獎

近日，由人社部和安徽省人民政府聯合主辦的「創贏未來」創業大賽全國總決賽在合肥市落下帷幕。鵬城微納技術（瀋陽）有限公司（以下簡稱「鵬城微納」）憑藉隧道連續式高真空磁控鍍膜封裝設備項目，榮獲「科技成果+創業賽道」全國總決賽三等獎，穩步走完省級選拔賽晉級全國賽場的完整賽程。

颱風資訊｜HFCVD——大尺寸鑽石薄膜沉積

大尺寸鑽石薄膜是實現規模化工業應用的關鍵，而HFCVD熱絲化學氣相沉積技術，正是目前製備大尺寸鑽石薄膜最主流、最高效的工業化方案。

TSV技術：AI算力的核心支柱

打通AI晶片的資料傳輸大動脈，支援算力持續躍升，需要晶片內部的底層關鍵技術——TSV矽通孔。TSV全稱為Through-Silicon Via，中文譯為矽通孔技術。簡單來說，它透過在矽片中製造垂直通孔並填充導電材料，從而於矽片的上下表面之間建立一條垂直的高密度電互連通道，實現晶片之間互連，是2.5D／3D封裝的關鍵工藝技術之一。