團簇式OLED設備

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團簇式OLED設備

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產品描述

本產品是自主「OLED真空蒸鍍工藝裝備」,是「卡脖子」的35項關鍵技術的第六項。項目技術團隊已完成G1(1代線)和G2.5(2.5代線)的研發設計和生產製造。
項目技術團隊已經解決了大部分關鍵技術問題(如:源爐技術、精準對位技術(對位精度達到1.5μm)、精密蒸鍍電源技術、原位膜厚測量技術、高真空傳遞機械手、電控系統及自動化控制軟件等)。
公司可對外承接OLED的G1和G2.5工藝線的設計製造。

應用領域

可廣泛用於OLED器件開發、量子點開發、薄膜太陽能電池器件研發、OLED微顯示的研發和生產、OLED材料驗證、VR(Micro-oled虛擬現實)、OLED照明等。

主要技術指標

指標	參數
對位精度	CCD精密對位≤1.5μm 機械對位≤150μm
膜厚均勻性和重複	± 2%
總體技術路線	採用cluster方案
工藝流程	設計-審核-外協-組裝-電氣安裝-調試-出廠