高真空超潔淨氣氛爐

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項目	配置和指標
1	設備結構
1	設備整體臥式前後開門結構,304 材質鏡面拋光,爐體雙層水冷,爐殼中間通水冷卻。爐體側部設有水冷電極,爐體設有真空抽氣接口、電極接口、充氣接口等。保溫屏固定在不鏽鋼框架上,圍繞在加熱室外側布置,真空鍍膜室φ1200×1000mm。
2	電控系統
2	由觸摸屏、可編程控制器、調壓器、真空計及記錄儀等組成,以實現供電、控制、記錄、監視、報警保護功能。
3	加熱與工作系統
3	高純鎢/鉬加熱器,加熱區域300(深)200(寬)200(高)mm,最大加熱功率60KW,最高溫度1800℃,工作溫度≤1600℃,控溫精度±1℃,測溫精度±1%FS,溫度均勻性±6℃。多層鎢、鉬反射屏和高溫不鏽鋼屏組合成封閉式空間保溫。鎢錸熱電偶、監測熱電偶組合控溫。
4	真空系統
4	真空系統由分子泵、機械泵、真空規管、高真空擋板閥、真空放氣閥、真空波紋管等組成,乾泵抽速160m3/h,分子泵抽速18000 m3/h,極限真空度6.67×10-4Pa,工作真空度6.67×10-3Pa。
5	水冷系統
5	由各種閥、測溫裝置、水流量計及管道相關裝置組成,具有關鍵位置冷卻水超溫,斷水報警並執行相應的保護動作。