RF160 等離子體清洗機

所屬分類:

服務支持:

項目	配置和指標
1	整體配置
1	布置電容耦合和電感耦合兩套等離子體發生裝置,匹配兩個清洗腔室。
2	電容耦合等離子體配置
2	電容耦合等離子體內腔尺寸 Ø165X55mm,襯底與電極距離15~ 50mm可調,極限真空度0.1Pa,工作真空度60~ 500 Pa。 2路工作氣路,配相應的流量控制器和儀錶。電源輸出功率100W(30/60/100W)三檔可調。
3	電感耦合等離子體配置
3	電感耦合等離子體內石英管尺寸Ø160X190mm(壁厚7mm),極限真空度:0.1Pa,極限真空度0.1Pa,工作真空度60~ 500 Pa。 2路工作氣路,配相應的流量控制器和儀錶。電源輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。
4	真空泵參數
4	外接真空泵,真空泵規格2L、AC220V