產品分類
- 產品描述
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項目
配置和指標 1
設備整體 真空專用不鏽鋼製作,真空泵、冷卻系統及冷阱集中在一起,整機整體可移動。 真空腔體內外表面電化學拋光,溫度自動控制,配電力系統檢測與報警、水壓檢測、溫度檢測等 2
工藝概況 可塗覆0.1-100μm薄膜,在真空中通過材料升華、裂解、聚合完成工藝,升華區溫度 200℃,偏差±2℃ 裂解區溫度 700℃,偏差±2℃。
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