真空器件檢漏台

所屬分類:

服務支持:

項目	配置和指標
1	整體配置
1	設備整體由真空系統、檢漏室、過渡室、質譜儀、控制系統組成,真空儲存室採用304不鏽鋼製造,內外電解拋光,預留法蘭若干,配檢漏工件安裝平台7套。四極質譜儀1台。
2	真空系統
2	配24m3/h抽速渦旋乾泵、抽速2232m3/h磁懸浮分子泵,腔體極限真空度≤ 2X10-5Pa,配量程105Pa~ 10-6Pa復合真空計,高低真空規管2套。
3	檢漏指標
3	測量模式下的抽速2.5 l/s, 1~ 100分子數,可檢測最小漏率至1·10E-13 Pa·m3/s,運行預備時間3min,響應時間0.5s,洩漏率線性對數輸出。