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高頻高真空金屬陶瓷封接設備

所屬分類:

高頻高真空金屬陶瓷封接設備

服務支持:

13632750017

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  • 產品描述

  •  項目

    		 配置和指標

    1

    		系統控制
    工業級工控觸摸屏,標配真空界面、金屬化工藝參數操作及顯示、高頻封接工藝參數操作及顯示等。 標準電控櫃,配有過壓、欠壓保護, 相極保護, 安全互鎖, 緊急停車按鈕等安保器件,具有電源分配供電及電氣單元的安裝與鏈接。

    2

    		陶瓷金屬化室
    工藝腔體材質為304不鏽鋼,內外電解拋光,1進出樣品前開門,位於手套箱內,1檢修維護後開門,均帶觀察窗,內部防污玻璃可更換,預留多個法蘭接口。

    2.1

    		真空系統
    真空配置抽速35m3/h渦旋乾泵,氣動閥控制;抽速4320m3/h磁懸浮分子泵,插板閥控制。 極限真空度≤ 2E-7 Torr,配大氣到2E-7Torr寬量程復合真空計。 若干套氣動截止閥控制充放氣和工藝氣體引入。 1流量控制器標定H2,量程範圍0~ 200sccm,1路流量控制器標定N2,量程範圍0~ 500sccm。

    2.2

    		 工藝配置
    配水冷電極3套;金屬加熱帶3組,加熱溫度1800℃±5℃;配PID閉環控溫20KW溫控加熱電源1台,溫控精度±2攝氏度;配全金屬隔熱屏1套;安裝骨架 4層Mo屏 4層高溫不鏽鋼屏,配耐高溫物料承載架,mo製金屬承重體及托盤。

    3

    		高頻感應封接室
    工藝腔體材質為304不鏽鋼,內外電解拋光,1進出樣品前開門,位於手套箱內,1檢修維護後開門,均帶觀察窗,內部防污玻璃可更換,預留多個法蘭接口。

    3.1

    		真空系統
    真空配置抽速20m3/h渦旋乾泵,氣動閥控制;抽速2232m3/h磁懸浮分子泵,插板閥控制。 極限真空度≤ 2E-7 Torr,配寬量程復合真空計,從大氣到2E-7Torr。 若干套氣動截止閥控制充放氣和工藝氣體引入。

    3.2

    		工藝配置
    配高頻水冷電極2套;配高頻電感線圈1組,適用頻率40KHz;配電感線圈升降機構1套,升降高度200mm;配10KW高頻電源1台,電源輸出正弦波40KHz,電流輸出調整2A~ 50A;配電源輸出控制器,最大控制電流50A,接觸電阻<0.005Ω,時間控制範圍1s~ 180s,輸入端帶瞬變阻尼器;設工件夾持、定位裝置,配烘烤照明電源1.6KW/80V;手動可調。

    3.3

    		手套箱
    設備倉手套箱長1500mm ,寬330mm,四手套位,該倉安裝金屬化真空室和封接真空室進出料門,下底部設有樣品轉移軌道。 操作倉手套箱長1200mm ,寬750mm,四手套位,該倉備有物料安放架,用於該設備工藝過程中應用物品的擺放和存儲。 另配進出樣品過渡倉。

    3.4

    		機架
    安裝手套箱及固定金屬化真空室和高頻封接真空室,機架安裝有腳輪,可進行位置移動,調整支撐支架即可固定。 

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