藏在醫療影像中的「鍍膜黑科技」
提到醫療影像,大家都不陌生,如CT、PET-CT檢查等,當這些設備在發揮作用時,其核心器件上一層納米級精密薄膜,正決定著影像的清晰度、靈敏度。而這層薄膜,離不開一項隱形「鍍膜黑科技」—— 磁控鍍膜 技術 。
磁控鍍膜是物理氣相沉積的一種。簡單說就是在真空環境裡,用磁場加速離子,讓它們均勻「撞」在靶材上,把靶材原子濺出來,在醫療影像設備的核心部件表面,鍍上一層具有優異附著力、高致密性和出色均勻性的高品質薄膜。
作為高端薄膜製備的隱形工匠,磁控鍍膜技術已成為醫療影像器件性能躍升的核心引擎。例如:在醫療光學鏡頭的應用領域中,透過磁控鍍膜在鏡頭表面鍍製多層介質膜,可將透光率大幅提升,從而提高醫療影像設備的檢驗能力。
鵬城半導體 依托自主研發的高真空磁控鍺射裝備與工藝,將奈米薄膜精準賦能醫療影像全產業鏈。
生產型TGV/TSV/TMV高真空磁控鍍膜機(Sputter-2000W系列) 該設備用於玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的金屬種子層鍍膜, 深徑比>10:1 。例如:用於基板鍍膜工序Cu/Ti微結構,Au/TiW傳輸導線雙體系膜層沉積能力,為微系統集成密度提升提供支援。
生產型 高真空磁控鍍膜/離子輔助/多弧複合鍍膜機(PVD-1000S系列) 該設備廣泛應用於銑刀、鑽頭、軸承、齒輪、鏡片等表面的硬質耐磨塗層製備,集成了工件表面處理、離子清洗、顆粒物控制、磁控鍺射、離子輔助鍍膜及反應鍺射鍍膜等工藝方法於一體的PVD設備。
生產型 高真空磁控鍍射及離子輔助複合鍍膜機(PVD-1000B系列) 該設備採用磁控鍍膜、離子輔助、反應鍍膜的工藝方法,在工件表面製備各種薄膜材料。該設備是集成了工件表面處理、離子清洗、顆粒物控制、磁控鍍膜、離子輔助鍍膜及反應鍍膜等工藝方法於一體的PVD設備。
隨著醫療影像技術向高分辨率、低劑量、智能化方向持續演進,薄膜器件的性能需求將不斷提升,鵬城半導體將繼續依托產學研融合的技術優勢,緊跟行業最新趨勢,以自主可控的高品質薄膜沉積裝備,助力國產醫療裝備升級。
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