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鵬城半導體 HFCVD熱絲化學氣相沉積 設備 高性價比 生產廠家《颱風快訊》

發布時間:

2024-07-09

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金剛石是一種典型的多功能極限材料,在電學、光學、熱學、力學聲學和電化學方面具有優異性能,在眾多高新技術領域具有廣闊的應用前景。

金剛石是一種典型的多功能極限材料,在電學、光學、熱學、力學聲學和電化學方面具有優異性能,在眾多高新技術領域具有廣闊的應用前景。
20世紀80年代之後,化學氣相沉積(CVD)技術製備金剛石塗層促進了其廣泛的應用,引發了席捲全球的「金剛石熱」。 90年代後,隨著金剛石塗層工業化製備技術的出現,金剛石塗層產業開萌生。 金剛石塗層工具、金剛石熱沉、金剛石光學窗口、金剛石膜基探測器及傳感器和金剛石電極等一系列高技術附加值產品開始進入市場,極大地推動了精密加工、生物醫學、電化學、傳感與探測和半導體等領域的產業升級。
21世紀初我國開始出現CVD金剛石產業,目前主要涵蓋硬質合金基金剛石塗層工具和模具,工具級、熱沉級和光學級金剛石自支撐膜,並呈現出良好的發展勢頭。 並且,我國的金剛石塗層研究一直受到國家有高度關注。 國家「863」計劃和國家自然科學基金均持續資助過相關研究項目。 在「八五」、「九五」、「十一五」期間均圍繞金剛石塗層方面設立重大關鍵技術項目和關鍵材料專項,取得了重大成果。
鵬城半導體技術(深圳)有限公司(簡稱:鵬城半導體)自主研發的HFCVD熱絲化學氣相沉積設備可用於微米晶、納米晶金剛石晶圓片生產,也可製造防腐耐磨硬質塗層、金剛石BDD電極、太陽能薄膜電池等。


自主研發生產的單/雙面鍍膜熱絲CVD金剛石設備(HFCVD)可製備金剛石多晶晶圓片襯底尺寸:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸。

金剛石薄膜生產線

 

6英寸金剛石散熱晶圓片

應用領域:第三代半導體、大功率激光器、10G通訊、微納聲學、功放器件、濾波器件等;可用於力學級別、熱學級別、光學級別、聲學級別的金剛石產品的研發生產。
公司簡介:
鵬城半導體技術(深圳)有限公司,由哈爾濱工業大學(深圳)與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。 公司立足於市場前沿、產業前沿和技術前沿的交叉點,尋求創新引領與可持續發展,解決產業的痛點和國產化難題,爭取產業鏈的自主可控。
公司核心業務是微納材料(含半導體材料)、微納製造工藝、微納裝備的研發設計和生產製造。
科研型設備:PVD、CVD、MBE分子束外延等。
工業生產型設備:大型蒸鍍設備、多弧離子源鍍膜設備、矩形磁控濺射鍍膜設備、電子束蒸發設備、OLED鍍膜設備、HFCVD熱絲化學氣相沉積設備、真空高溫CVD爐、六英寸MBE生產設備。
公司技術和產品可以廣泛應用於:新材料、新能源、微電子光電子、半導體、聲學、光學、微機電系統(MEMS);傳感器、生物醫學、精準醫療、大健康、環保、微納機器人、表面技術等領域。
公司核心研發團隊知識結構完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊,還有來自工業界的高級裝備設計師團隊。 公司團隊具有20多年的微納材料與器件研究(含半導體材料)、PVD/CVD沉積技術研究、外延技術研究、薄膜製備成套裝備設計和生產製造的經驗。






 

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