資質榮譽
「創贏未來」2026創業大賽遼寧省選拔賽「科技成果+創業」賽道一等獎
一種立式雙室熱絲CVD系統及其使用方法
高新技術企業
一種插板閥以及立式雙室熱絲CVD系統
一種掩膜版切換機構以及真空鍍膜設備
一種超高真空磁控濺射靶以及磁控濺射裝置
一種磁控濺射靶組件
一種矩形平面濺射靶
一種鍍膜設備樣品台組件
一種立式雙室熱絲CVD系統
一種熱絲CVD設備
一種線槽組件以及電控模組
一種旋轉樣品台及分子束外延設備
一種用於熱絲薄膜沉積的熱絲固定組件
真空鍍膜設備機櫃
多功能磁控溅射仪系統軟體
多功能磁控濺射配方可重構系統軟體
多功能磁控濺射資料採集系統軟體
PVD薄膜沉積系統軟件
單室高真空PECVD薄膜製備設備電源系統軟件
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