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「創贏未來」2026創業大賽遼寧省選拔賽「科技成果+創業」賽道一等獎

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一種立式雙室熱絲CVD系統及其使用方法

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高新技術企業

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一種插板閥以及立式雙室熱絲CVD系統

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可靠性預測與評估實驗室

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Dynacool綜合物性測試系統(PPMS)

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X射线繞射(XRD)

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掃描電子顯微鏡(SEM)

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原子力顯微鏡(AFM)

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X射線光電子能譜儀(XPS)

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拉曼光譜儀

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顯微光致發光光譜儀

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微米與納米流體力學研究中心

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航空航天微納器件製備和檢測平台

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微纳光电信息系统理论与技术工业和信息化部重点实验室

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微型光電器件工程實驗室

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一種掩膜版切換機構以及真空鍍膜設備

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一種超高真空磁控濺射靶以及磁控濺射裝置

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一種磁控濺射靶組件

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一種矩形平面濺射靶

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